無油真空泵主要用于獲得低、中真空度，它可分為油封泵和干式泵，根據(jù)所要求的真空度，還可以分為單級泵和雙級泵。無油真空泵主要是由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋和彈簧等部件構(gòu)成。在無油真空泵的腔內(nèi)，有偏心地安裝了一個轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外邊與腔內(nèi)表面相切，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的兩個旋片。當轉(zhuǎn)子在運轉(zhuǎn)的過程中，旋片能沿其徑向槽成往復(fù)式地滑動，并且與泵殼內(nèi)表面始終相接觸，此旋片隨轉(zhuǎn)子一起旋轉(zhuǎn)，進而把真空泵腔體分為多個可變?nèi)莘e空間。